简介

RC2 XI-210光谱型椭偏仪是采用双旋转补偿器，消色差补偿器设计，先进的光源以及新一代的光谱仪设计，适用于各种光谱椭偏应用，又能够测量穆勒矩阵的所有参数。RC2是第一款能够采集穆勒矩阵全部16个元的商业化光谱椭偏仪，在保证出众的准确性的同时能够实现宽光谱范围内的极快的测量速度。

系统配置

RC2系列 X-210主机一套；

自动变角基座台一套；

自动样品台一套；

聚焦光斑聚焦件一套；

光显相机一套；

技术参数

光谱范围：210-1690nm

光斑尺寸：普通光斑直径4mm；微光斑直径80微米

样品台平移：自动200mm X/Y自动平移

参数测量范围：Δ（0～360°）；Ψ（0~90°）；4*4全穆勒矩阵元测量

直射测量正确度：Ψ：45º±0.02º ；Δ：0º±0.05º；Depolarization:0%±0.5%

测量重复性：膜厚测量优于0.005nm

主要功能

用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构特性的光学测量。可测的样品包括大块材料、薄膜以及在平面基底上生长或沉积的多层结构。由于与样品非接触，对样品没有破坏并且不需要真空，使得椭偏仪成为一种极具吸引力的探测设备