简介

微纳光波导测试平台配备高速、高波长精度可调谐激光器，高灵敏度光功率传感器，以及高精度光纤对准系统，可以实现基于端面耦合或光栅耦合模式的微纳尺度光波导器件传输特性快速测量，是研究集成光电子器件必不可少的分析测试仪器。

系统配置

Keysight 81960A 快速扫描紧凑型可调谐激光源一套；

Keysight 81636B 光功率传感器一套；

Newport ULTRAlign M-516D 六轴光纤对准台两套；

Micronviewer 7290A 红外成像相机一台；

气浮光学平台一套；

偏振调节器一套；

技术参数

波长范围：1505-1630nm

波长扫描精度：±10 pm

波长最大扫描速度：200 nm/s

功率测量范围：+10 dBm 到-110 dBm

光纤对准精度：三轴平移对准精度优于100 nm

主要功能

微纳光学波导器件的传输特性的测量分析